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怎样选择适合的真空系统?

时间:2011-03-01 14:47来源:东山真空 作者:YCF 点击:

选择一套适合自己的真空系统,往往事半功倍,特别是一开始设计时,就应该考虑到几个关键的参数。佛山东山真空根据多年实践,就设计,选择真空系统时应该注意的问题和大家分享一下:

 

    1)使真空室(或被抽器件)中能获得所需的极限真空度和工作真空度。极限真空度是由真空泵长期抽气后真空室(或被抽器件)所能达到的真空度;工作真空度是指在排气过程中真空室(或被抽器件)所能维持的真空度。由于在排气过程中,真空室(或被抽器件)往往需要进行某些处理(如加热、电子轰击等),因而会产生大量气体,故工作真空度一般低于极限真空度。例如真空镀膜机在开始蒸气镀膜时会放出大量气体,此时真空室(钟罩)内的真空度称为工作真空度。又如真空退火炉在升温过程中,因零件大量放气,此时的真空度称之为工作真空度。再如真空电子器件在烘烤排气过程中的真空度也称为工作真空度。当烘烤结束,器件内真空度基本维持不变,此时的真空度称之为极限真空度。
为满足工作真空度和极限真空度,应选择相应的真空泵,一般所选真空泵的极限真空度要高于真空室(或被抽器件)要求的极限真空度。
   2)使真空室(或被抽器件)获得所需的抽速。抽速的大小决定了达到工作真空度、极限真空度所需的时间,提高抽速可缩短排气时间从而提高劳动生产效率。抽速的大小还可根据被抽容器的体积大小以及放气(漏气)的大小而定。对于大的真空室如宇航模拟装置、原子能实验装置,以及虽真空室小但放气、漏气严重的装置都应采用大抽速的泵。
   3)被抽真空室(或工作室)中有合适的残气成分。单纯保证工作真空度和极限真空度只反映了系统中的总压强,还不能完全保证某些特殊要求,还应对残余气体成分有一定的要求。例如在有氧化物阴极的器件中,残气中不应含有cl,s 或其化合物。
   4)真空系统结构简单牢固,操作维护方便,耗电、耗水少,噪音低,无污染,价格便宜等。
为满足上述要求,必须从实用出发,综合考虑各种因素,合理选用真空泵、真空计、真空阀门及真空管道。如某些被抽容器本身有油污染源,因此选用真空泵就没有必要选无油真空泵。如某些真空电子器件只需达到10-4帕的高真空,因而只要选用油扩散泵或钛升华泵作为主泵,普通电离真空计做为测量真空用,若选用溅射离子泵和超高真空电离计就显得大材小用了。反之,如果需要超高真空的系统,而选用只能获得高真空的泵和真空计,那么就力不从心了。
此外,在一些工业生产中,为了提高劳动生产率,需选用大抽率的真空泵,但大抽速真空泵的价格较贵,水、电捎耗量大,也可能提高了劳动生产率,而单位产品的成本提高了,可能导致经济效率下降。故应进行多方面考虑。以上几点仅供参考,欢迎各位登陆www.dsjd.com.cn 参加讨论,或来电0757-83818955(16线)咨询。
本页关键词:真空泵,真空系统
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